從構成潔凈室整體的硬件來(lái)說(shuō),有以下幾部分: (1)潔凈室圍護結構 由土建材料現場(chǎng)構筑或工廠(chǎng)預制的構件構筑。除了合理的平剖面規劃布置外,為滿(mǎn)足潔凈要求的建筑構造節點(diǎn)的設計和制作,也是重要的構成部分。 (2)空調凈化系統 在空調裝置的基礎上,強化空氣過(guò)來(lái)設施(三級過(guò)濾),控制正壓,保證足夠的風(fēng)量。末級過(guò)濾器的性能對潔凈室具有關(guān)鍵作用,末端高效過(guò)濾器安裝的密封性也不可能忽視。 (3)附屬設備 為保證潔凈室的使用要求,應具有良好的人、物凈化設施,如空氣吹淋、傳遞窗、余壓閥......等,此外,用于監測潔凈室潔凈度級別的塵粒計數器等也是不可缺少的設備。